群翊烘烤設備，有著精準的溫控系統，能設定升降溫速度熱能，以配合不同材質的元件、不同的熱膨脹係數。
擁有豐富的軟硬體經驗,整合EFEM自動化系統，符合SECS/GEM300 規範。
N2 Hot Air Clean Oven, Vacuum N2 Hot Air Oven, Vacuum IR Oven, Vacuum Hot Plate Oven, Horizontal & Vertical Baking
可對應APL預烤，Sintering 烤箱，Annealing 烘烤，ABF烘烤，Sputter 鍍膜前去水烘烤，光阻/Dielectric 預烤、後烤，PEB， Molding 後烘烤。