浸泡塗佈

設備特色

1. 全面塗佈
2. 適用AP塗佈、PI塗佈、溶膠
3. 根據客戶板尺寸需求製作治具
4. 全時運作性之過濾及循環系統

全自動化

1. 可規劃搭配自動化烘烤設備與其他相關功能設備
2. 對應SECS/GEM需求
3. 可搭配EFEM進行投收板
4. 適用於厚度0.2mm-3mm的CCL及玻璃基板

升降臂

1. 每次浸泡1片
2. 研磨級螺桿加伺服MOTOR，進行多段可程式速度控制
3. 速度設定範圍0.1~50 mm/sec

浸泡槽

1. 內體積 – 可切換對應基板尺寸
2. 雙重槽設計，溢流循環管理
3. 自動添加油墨
4. 外部有圍籬，上方有FFU 保持潔淨

設備安全規範

1. 符合SEMI S2、S8規範
2. 符合CE、UL規範