壓膜機

設備特色

1. 適用於銅板與玻璃基板壓膜製程
2. 適用於DFR、Protective-film、PET-film 貼膜製程
3. 貼膜表面無氣泡皺褶

全自動化

1. 可搭配EFEM進行投收料
2. 可搭配電腦儲存配方與相關生產履歷
3. 對應SECS/GEM需求

精度

1. 採用CCD對位系統輔助貼膜精度
2. 前後留邊精度可達±1mm

基板搬送

1. 軟性材質接觸基板不刮傷
2. 0.2mm玻璃無刮傷、無損壞

設備安全規範

1. 符合SEMI S2、S8規範
2. 符合CE、UL規範